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派克Veriflo產品組SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E(0.15Cv)是市場上先進的微型超*純減壓閥。產品提供精密且穩定的壓力控制,提*了MFC(質量流星控制器)的**,這對半導體**的重復性和產量至關重要。產品同樣表現出優異的泄露完整性和底粒子生成,以減少對半導體應用中至關重要的的過程污染.
SMSQ2Micro系列減壓閥的內部(閥座)密封和金屬外部密封通過氦泄漏測試,使用質譜儀以獲得在苛刻超*純應用中的**和穩定性.
美國Parker調壓閥,派克應用參數
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